低真空装置如真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空单调、真空脱气（钢水处置）等恳求具有工作压力高、排气量大的低真空泵抽气机组，这类低真空抽气机组主泵常用无油立式往复真空泵、油封式真空泵、水蒸气放射泵、水环泵、罗茨泵等。运用的低真空抽气机组还需根据被抽气体清洁程度、湿度或其他特殊恳求，配置必要的除尘器、单调罐等部件。
水蒸气在紧缩过程中会凝结成水滴，并与泵混合构成悬浮液，不只会使真空度降落，也能使泵腔与转子生锈，破坏密封面，使无油立式往复真空泵的极限真空度降落。为此，防止水蒸气对机械泵的污染很重要。防止的措施有：
1、选用带有气镇装置的油封机械泵；
2、装油分别器、离心式分别器或油水分别器，将混有水的机械泵油中止处置，处置过的油再流入泵中运用；
3、无油立式往复真空泵运用吸水性强的单调剂；
4、运用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸气，同时还可以阻挠机械泵油向高真空室返流。